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激光干涉儀可作為精密工具機的校正工作

點擊次數(shù):970次  更新時間:2022-03-02
  激光干涉儀以激光波長為已知長度利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量,干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。激光具有高強度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。
  
  干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。
  
  激光干涉儀的應用:
  
  1、幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。
  
  2、位置精度的檢測及其自動補償可檢測數(shù)控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用干涉儀不僅能自動測量機器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節(jié)省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差。
  
  3、數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補償,利用干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準還能進行回轉(zhuǎn)軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進行全自動測量,其精度達±1。
  
  4、雙軸定位精度的檢測及其自動補償干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床,由雙伺服驅(qū)動某一軸向運動的定位精度,而且還能通過RS232接口,自動對兩軸線性誤差分別進行補償。
  
  5、數(shù)控機床動態(tài)性能檢測利用RENISHAW動態(tài)特性測量與評估軟件,可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析(FFT),滾珠絲杠的動態(tài)特性分析,伺服驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析,導軌的動態(tài)特性(低速爬行)分析等。
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